Articles des Congrès

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DES JETS D’AÉROSOLS POUR LA SYNTHÈSE DE NANOCOMPOSITES SUR DE GRANDES SURFACES.

O. SUBLEMONTIER (1), Y. ROUSSEAU (1), Y. LECONTE (1), C. PETIT (2), E. MONSIFROT (3), F. PERRY (3), J-P. GASTON (4), P. CHAPON (4), M. STCHAKOVSKY (4), P. BRIOIS (5), A. BILLARD (5), F. TORRENT (6)

1. CEA-IRAMIS-NIMBE –UMR 3685, Lab. Edifices Nanométriques, Gif-sur-Yvette, France
2. SOCRATE-Industrie, Le Bélieu, France
3. DEPHIS, Etupes, France
4. HORIBA-Jobin Yvon, Palaiseau, FRANCE
5. UTBM/FEMTO-ST, Montbéliard, FRANCE
6. DECAYEUX-STI, Saucourt, FRANCE

[2018]

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Résumé

Nous présentons ici une méthode originale et sécurisée pour l'élaboration en une seule étape de films nanostructurés composés de nanoparticules enrobées dans une matrice. Ce procédé polyvalent combine sous vide la technologie des jets de nanoparticules avec la pulvérisation magnétron classique. Le principal avantage de la technique est la possibilité de choisir indépendamment la nature chimique des nanoparticules et celle de la matrice. La capacité à réaliser la synthèse sur de grandes surfaces est fournie par l'utilisation d'une série de plusieurs lentilles aérodynamiques placées en parallèle entre la source des nanoparticules et la chambre de dépôt sur une machine prototype.


Mots clés

Lentille aérodynamique, revêtements nanostructurés, dépôt physique en phase vapeur, aérosol nanométrique.

Abstract

We present here an original safe-by-design method for the elaboration of nanostructured films composed of nanoparticles embedded in a matrix. This versatile single step process operates under vacuum by combining the jet of nanoparticles technology with classical magnetron sputtering. The main advantage of the technique is based on the possibility to choose independently the chemical nature of nanoparticles and matrix. The ability to achieve synthesis on large surfaces is provided by the use of a series of several aerodynamic lenses implemented on a prototype set up between the source of nanoparticles and the deposition chamber.


Keywords

Aerodynamic lens, Nanostructured coatings, Physical vapor deposition, Nano-sized aerosol

DOI

10.25576/ASFERA-CFA2018-12545

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