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MONITORING DES PARTICULES DÉPOSÉES EN SALLES PROPRES DU LASER MÉGAJOULE.

I. TOVENA PECAULT

CEA CESTA, DLP, Le Barp

[2018]

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Résumé

Le dépôt de particules dans les salles propres est une problématique d'intérêt pour toute l'industrie produisant des produits critiques avec des surfaces sensibles à la contamination particulaire. Dans le cadre du Laser MegaJoule(LMJ), ce papier donne les premiers résultats de mesurage de la contamination particulaire déposée dans l'environnement des miroirs de transport, obtenus grâce à un système innovant et temps rée! : CLEAPART-100. Le CLEAPART-100 détecte les mêmes évènements de contamination que les compteurs optiques. L'intérêt principal du CLEAPART-100 est sa capacité à suivre le comportement dynamique des particules déposées de taille supérieure à 5μm avec remise en suspension d'une partie d'entre elles.


Mots clés

dépôt, remise en suspension,particules, CLEAPART-100

Abstract

Particle fallout in cleanrooms is a primary concern for industries manufacturing critical products with surfaces highly susceptible to particulate contamination. Limited research has been conducted to measure the deposited particles in cleanrooms. In the frame of the Laser MegaJoule (LMJ), this paper gives the first results of deposited particles measurement around the transport mirrors obtained thanks to a real-time and innovative device: CLEAPART-100. The CLEAPART-100 detects the same contamination event as optical counters do. The main interest of the CLEAPART-100 is that it follows the dynamic behavior of the deposited particles higher than 5μm with resuspension of part of them.


DOI

10.25576/ASFERA-CFA2018-12551

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