Grâce à une technologie innovante, l'architecture NEMS-MS (NanoElectroMechanical System-Mass Spectrometry) est capable de mesurer la masse de nanoparticules d'origines naturelles ou artificielles dans une gamme (MDa-GDa) difficilement accessible en spectrométrie de masse conventionnelle. Sa miniaturisation lui permettrait de s'exporter hors du laboratoire mais nécessite d'adapter la lentille aérodynamique utilisée pour focaliser les particules sur le capteur NEMS. Ce travail présente donc la caractérisation numérique de la lentille du système - validée expérimentalement - et propose une méthode d'optimisation tenant compte des paramètres système (pression, débit) pour sa miniaturisation.

Thanks to an innovative technology, the NEMS-MS (NanoElectroMechanical System-Mass Spectrometry) is capable of measuring the mass of natural or artificial nanoparticles in a challenging range for conventional mass spectrometry (MDa-GDa). Its miniaturization would allow performing measurements outside of the laboratory but requires adapting the aerodynamic lens used to focus particles on the NEMS sensor. Thus, this work presents the numerical study of the lens and proposes an optimization method for its miniaturization, considering the system parameters (pressure, flowrate).