Les couches minces déposées par procédés en voie sèche suscitent une grande attention en raison de la large gamme de fonctionnalités qu'elles peuvent développer. Dans ce contexte, l'injection de précurseurs liquides dans un plasma via l'injection d'un aérosol est une alternative aux méthodes classiques en phase gazeuse. Néanmoins, l'interaction entre le plasma et l'aérosol est un problème complexe qui demande la compréhension de phénomènes à l'intersection de la physique et de la chimie. En particulier, il est fondamental de contrôler la forme et la nature de l'aérosol, ainsi que l'interaction entre les gouttelettes liquides et le plasma. Ce dernier est un problème d'interface, conduisant à la fois à l'évaporation des gouttelettes et à la modification de leur nature chimique, influençant finalement les paramètres du plasma et la structure du film mince déposé. L'étude présentée a pour objectif de définir et de décrire les interactions plasma-gouttelette. Plus particulièrement, l'objectif est de caractériser la dynamique de l'aérosol et des gouttelettes. Notamment, le comportement de liquides purs ou de mélanges homogènes est étudié, offrant la possibilité d'optimiser les procédés assistés par aérosols avec des formes et des tailles de gouttelettes contrôlées.

Thin films obtained from dry processes have garnered great attention due to their wide scope of functionalities. Within this context, the injection of liquid precursors in a plasma via aerosol spraying is an alternative to classical methods of vaporisation. However, the interaction between the plasma and the aerosol is a complex problem that requires the understanding of phenomena at the intersection between physics and chemistry. In particular, it is fundamental to control the shape and nature of the aerosol, as well as the interaction between the liquid droplets and the plasma. This latter is an interface problem, leading both to the evaporation of the droplets and the modification of their chemical nature, influencing ultimately the plasma behaviour and the deposited thin film. Here, the study aims to understanding and describing the plasma-droplet interaction. More specifically, the goal is to characterize the aerosol and droplets dynamics. For this scope, the behaviours of pure liquids but also homogenous mixtures are studied, offering the possibility of optimizing the process by spraying aerosols with controlled shapes and droplet sizes.