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Régénération de surface de silicium après impaction monodispersée de billes de latex et d'Arizona Dust

P. Didier (1), E. Algré (2), Y. Damerdji (1), F. Marty (2), S. Ritoux (3), E. Géhin (1)

1. Univ Paris Est Créteil, CERTES, Créteil, France
2. Univ Gustave Eiffel, ESYCOM, ESIEE Paris, Cite Descartes, Noisy-le-Grand, France
3. CSTB, Champs-sur-Marne, Marne-la-vallée, France.

[2024]

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Résumé

L'objectif de cette étude est de mettre en place une méthode de régénération de surface de collection de silicium (Si) d'un impacteur. Pour répondre à cette problématique, l'impacteur, développé au cours de recherches conjointes entre le CERTES, ESYCOM et le CSTB, a été utilisé comme banc de régénération. Plusieurs surfaces ont été testées au cours de cette étude, telles que des surfaces de Si microstructurées ou encore une surface plane de Si. La caractérisation des surfaces, avant et après nettoyage, est effectuée à l'aide d'analyses par microscopie optique, qui ont montré le détachement des billes de latex ou d'Arizona Dust impactés sur les surfaces d'étude.

Mots clés

billes de latex, impacteur, régénération, capteur

Abstract

The objective of this study is to set up a method for regenerating silicon (Si) surfaces of an impactor. To respond to this problem, the impactor, developed during joint research between CERTES, ESYCOM and CSTB, was used as a regeneration bench. Several surfaces were tested during this study, such as micro-structured Si surfaces or a flat Si surface. The characterization of the surfaces before and after cleaning is carried out using optical microscopy analyses, which showed the detachment of latex beads or Arizona Dust impacted on the study surfaces.

Keywords

latex beads, impactor, regeneration, sensor

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